紫外激光微精密加工系统的优势在于热影响区域小，光斑小，光束质量高，加工质量高、精度高，根据其配置不同，其精度差异化非常大。那么有哪些原因影响了紫外激光切割机的精度呢？
振镜：振镜为激光器外光路系统中的重要核心器件，振镜好坏体现在速度、光斑圆度、光斑偏转精度等因素。
软件控制系统：软件控制系统影响着整机的重复精度，需要通过软件控制不停的校正来保证整机精度。相比较而言，软件往往也是容易让人忽视的一部分。
激光器：激光器是紫外精密微加工系统中Z核心器件，直接影响着激光加工的精度，光般大小、光束质量、重复频率、光斑圆度、脉冲宽度直接影响着激光输出的精度，每种激光器的功率参数不同，且每个公司的参考参数都不同，对应的精度差异大，激光切割机。
直线电机：直线电机影响的是拼接精度，一般加工的材料Z大幅面都会比透镜的扫描范围要大，因此都会采用相机识别，通过直线电机移动拼接，好的直线电机拼接精度可以做到1μm。对于一些没有拼接精度要求，只是需要光斑精度的材料可以考虑采用伺服电机，能够节省很大一部分成本费用。
场镜：场镜也称为透镜，场镜的扫描范围直接影响的是光斑的精度，光板的大小决定了在加工材料过程中的热影响区域，比方说在玻璃镀层上刻蚀，单次划线的精度从5-20微米不等，其主要因素决定于场镜的大小，通常情况下作为切割用的透镜范围在30-40mm之间，而想要在玻璃镀层上更小的线宽，则需要6-15mm的透镜。透镜越小，光斑越小，对应能做到的热影响更小，精度更高。
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